SEMI E54.24 - 汎用機器ネットワークセンサー (GENsen) のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有デバイスモデルの仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 7 月 21 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2016 年 11 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。

この仕様は、センサー/アクチュエータ ネットワークの SEMI 標準の実装を指定する一連の標準の一部です。この仕様の具体的な目的は、半導体製造装置上の 1 つ以上の現象を測定し、センサー/アクチュエータ通信ネットワークを介して通信する汎用センサー デバイスのネットワークに依存しないアプリケーション モデルを説明することです。多くの場合、このようなセンサーは、現在の機器構成では提供されていない機能を提供する可能性があるため、機器に追加されます。

この文書では、一般的な機器のネットワーク化されたセンサーの特定のデバイス構造と動作について説明します。これには、センサー/アクチュエーター通信ネットワークを介して通信する機器に追加されたセンサーが含まれる場合があります。また、機器のデフォルト構成の一部であり、センサー/アクチュエーター通信ネットワークを介して通信するセンサーも含まれる場合があります。

この文書は、データ生成者とみなされるセンサーにのみ適用されます。センサーデバイスの構成または制御 (たとえば、第 3 のエンティティによって記述される) は、この規格の範囲外です。

この文書は、他の参照文書ですでに定義されている用語を定義しません。

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準
SEMI E54 — センサー/アクチュエーター ネットワークの仕様
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの仕様
SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様

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