SEMI E54.23 - CC-LINK® IE のセンサー/アクチュエーター ネットワーク通信の仕様 -

Abstract

この仕様は SEMI の一部です センサー/アクチュエーター ネットワーク (SAN) の標準スイートと、特定の CC-Link IE ^®標準に基づく通信プロトコル CC-Link IE フィールド ネットワークおよび CC-Link IE TSN のバリエーション、以下総称します CC-Link IEといいます。このネットワーク通信標準 (NCS) は採用されています SEMI センサー/アクチュエーター ネットワーク標準スイートおよび CC‑Link と併用 IE 標準は、オープン標準を完全かつ明確に定義し、 ネットワークに接続された既製の相互運用性に対する業界固有のソリューション 半導体製造装置のデバイス。

CC-Link IE はベンダーに依存しないオープンなデバイスです レベルのネットワーク標準。ベンダーの独立性とオープン性は、 CC-Link協会

この文書では、SAN 通信について説明します。 SEMIに準拠したCC-Link IE仕様に基づく規格 E54.1。そのため、準拠するプロトコル、サービス、および動作を指定します。 インテリジェントデバイスは、これを介して情報を交換するためにサポートする必要があります SEMI E39と互換性のある方式のSAN。

SEMIと連携して 標準の SAN Common Device Model (CDM) 仕様と 1 つ以上の SEMI 標準特定デバイス モデル (SDM) 仕様 (例: マスフロー コントローラー用)、 このネットワーク通信規格 (NCS) と関連する CC-Link IE 規格 特徴的なデータ構造、相互作用、動作を説明する ネットワーク上のさまざまなデバイスの。この複合モデルは完全なモデルを形成します。 インテリジェントセンサー間の通信のための相互運用性標準、 半導体製造装置のアクチュエーターやコントローラーなど。

参照されるSEMI規格

SEMI E39 — オブジェクト サービスの仕様: 概念、動作、および サービス

SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーターネットワーク共通デバイスの仕様 モデル

SEMI E54.3 — センサー/アクチュエーターネットワーク固有デバイスの仕様 マスフローデバイス用モデル

SEMI E54.10 — センサー/アクチュエーターネットワーク固有デバイスの仕様 In Situ 粒子監視装置のモデル

SEMI E54.11 — エンドポイントデバイスの特定のデバイスモデル

SEMI E54.18 — センサー/アクチュエーターネットワーク固有デバイスの仕様 真空ポンプ装置の型式 

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