SEMI E54.22 - 真空圧力計用のセンサー/アクチュエーター ネットワーク固有のデバイス モデルの仕様 -

Abstract

この仕様は、センサー/アクチュエータ ネットワークの SEMI 標準の実装を指定する一連の標準の一部です。この仕様の具体的な目的は、半導体装置のセンサー/アクチュエーター通信ネットワーク上のすべての真空圧力計に共通のデバイス オブジェクトで構成されるネットワークに依存しないアプリケーション モデルを説明することです。

この仕様は、センサー/アクチュエーター ネットワーク上で相互運用可能にするために真空圧力計 (VPG) デバイスがサポートする必要がある最小限の属性、サービス、および動作を具体的に扱います。

この仕様は、製品の差別化とテクノロジーの進化に対する柔軟性を確保しながら、センサー/アクチュエーター ネットワーク上での高度なデバイスの相互運用性を確保することを目的としています。

この仕様で指定されているモデルは、ネットワーク インターフェイスから表示される VPG を完全に記述するために、センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデル (CDM) と組み合わせて使用​​されます。

この仕様は、センサー/アクチュエーター ネットワーク標準、センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデル、およびセンサー/アクチュエーター ネットワーク通信仕様とともに、VPG の完全な相互運用性仕様を形成します。

この仕様に準拠するには、デバイスは少なくとも、これらの文書で特定されている必須の属性、サービス、および動作を実装し、サポートする必要があります。オプションの属性、サービス、および動作のサポートは、この仕様に準拠する必要はありません。機能が進化し、より多くのメーカーで採用されるにつれて、デバイスの相互運用性をさらに促進するために、オプションの属性、サービス、および動作がこれらのドキュメントで指定されています。オプションの属性、サービス、および動作がこのデバイスに実装されている場合は、このドキュメントで指定されているとおりに実装する必要があります。

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの規格

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