SEMI E54.21 - モーションネット通信用のセンサー アクチュエータ ネットワークの仕様 -

Abstract

この文書は、半導体製造装置の SEMI E54 デバイス モデルに従って動作するセンサー/アクチュエーター ネットワーク (SAN) 上のインテリジェント デバイス間の通信を可能にする、MOTIONNET® プロトコルに基づく通信仕様を定義します。

この文書は、SEMI E54 の共通/特定のデバイス モデル ベースのセンサー/アクチュエーター デバイスとの相互運用性を提供します。

この文書は、機器の制御システムの一部として、§ 4 で参照されている MOTIONNET パブリック仕様に固有のネットワーク上でセンサー/アクチュエータ/コントローラー デバイスがどのように相互運用するかを指定します。

この文書は、Common Device Model (CDM) および既存の Specific Device Model (SDM) を含む SEMI E54 の主要部分との関係を定義します。この文書は、CDM および 1 つ以上の SDM、および MOTIONNET 公開仕様とともに使用されます。

SEMI E54 — センサー/アクチュエーター ネットワークの仕様
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの仕様
SEMI E54.3 — マスフローデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.10 — In Situ 粒子監視デバイス用のセンサー/アクチュエーター ネットワーク固有のデバイス モデルの仕様
SEMI E54.11 — エンドポイントデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.18 — 真空ポンプデバイス用のセンサー/アクチュエーター固有のデバイスモデルの仕様

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