Japan Store
SEMI E54.21 - MOTIONNET®用センサー／アクチュエータネットワーク（SAN）通信に関する仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2010年1 月20 日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認された。 org で入手可能となります。
注意：本書は、 SEMI E155 に代わるものである。
本書は半導体製造装置に装備されるセンサー／アクチュエータネットワーク（SAN）上のSEMI E54のデバイスモデルに従って動作するインテリジェントなデバイス間の通信を可能とするMOTIONNET® プロトコルに基づいた通信の規定を定めるものである。
本書はSEMI E54の共通／特定のデバイスモデルに基づいたセンサー／アクチュエータデバイス間の相互運用を可能とするものである。
参照されるSEMI規格SEMI E54 — センサー/アクチュエーター ネットワーク規格
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの規格
SEMI E54.3 — マスフローデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.10 — In Situ 粒子監視デバイス用のセンサー/アクチュエーター ネットワーク固有のデバイス モデルの仕様
SEMI E54.11 — エンドポイントデバイスの特定のデバイスモデル
SEMI E54.18 — 真空ポンプデバイス用のセンサー/アクチュエーター固有のデバイスモデルの仕様
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件