SEMI E54.20 - EtherCAT のセンサー/アクチュエーター ネットワーク通信の仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2015 年 12 月 4 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2016 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2007 年 11 月。以前は 2013 年 7 月に出版されました。

注意: この文書は、SEMI E54 規格スイートとともに発行されなくなりました。別売りで発行・販売しております。

この仕様は、SEMI センサー/アクチュエータ ネットワーク (SAN) 規格スイートの一部であり、EtherCAT 標準に基づいた特定の通信プロトコルを定義します。このネットワーク通信標準 (NCS) は、SEMI センサー/アクチュエータ ネットワーク標準スイートおよび EtherCAT 標準と合わせて、半導体製造装置のネットワーク接続されたデバイスの既製の相互運用性に対する業界固有のソリューションを提供するオープン標準を完全かつ明確に定義します。

EtherCAT は、製造、プロセス、ビルディングオートメーションにおける幅広いアプリケーション向けのベンダーに依存しないオープンフィールドバス標準であり、EtherCAT テクノロジーによってサポートされています。

EtherCATのアプリケーションモデルはCANopenのモデルと互換性があります。同じマッピング規則が適用されます。

EtherCAT は、デバイス レベルでのオートメーション制御システムと分散 I/O 間の高速かつ安価な接続のために最適化されています。

この文書は、SEMI E54.1 に準拠した EtherCAT 仕様に基づいた SAN 通信規格を規定します。そのため、SEMI E39 と互換性のある方法でこの SAN 上で情報を交換するために、準拠したインテリジェント デバイスがサポートする必要があるプロトコル、サービス、および動作を指定します。

SEMI 標準 SAN 共通デバイス モデル (CDM) 仕様および 1 つ以上の SEMI 標準固有デバイス モデル (SDM) 仕様 (マスフロー コントローラなど) と併せて、このネットワーク通信標準 (NCS) と関連する EtherCAT 標準について説明します。ネットワーク上のさまざまなデバイスの特徴であるデータ構造、相互作用、および動作。この複合モデルは、半導体製造装置のインテリジェント センサー、アクチュエーター、コントローラー間の通信のための完全な相互運用性標準を形成します。

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの仕様

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