SEMI E54.20 - EtherCAT用センサー／アクチュエータネットワーク通信に関する基準 -

Abstract

本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2008年8月29日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認された。 orgで、そして2008 年11月にCD-ROMで入手可能となりました。初版は2007年11月に発行されました。

注意： 本書は、SEMI E54連続の基準として出版されず、単独で発行および販売される。

本仕様はSEMIセンサー／アクチュエータネットワーク（ SAN ）標準の一部であり、EtherCAT標準を基本とした特定の通信プロトコルを定義する。本ネットワーク通信スタンダード（ NCS ）をSEMIセンサー／アクチュエータネットワーク・スタンダード・セットおよびEtherCAT標準と合わせることで，半導体製造装置内のネットワークに接続される機器（デバイス）を新たに開発する手間をかけずに相互に利用できる，業界に特化したソリューションを提供するオープン・スタンダードが完全かつ明ミントに定義されるものである。

EtherCATとはベンダーから独立した、オープンなフィールドバス・標準で、製造・プロセス・建築の自動化の分野で広範囲アプリケーションに適用されており、EtherCAT Technology Groupによってサポートされている（ ETG 、 http://www.ethercat .org 参照）。

EtherCATのアプリケーション・モデルはCANopenの同モデルと互換性があり、同じ規則が適用される。

EtherCATは自動制御系と分散配置されるI/Oとその間の機器（デバイス）レベルの、高速かつ低コストの接続が可能なよう最適化されたものである。

本書は、EtherCAT仕様に準拠しながらも、SEMI E54.1に準拠するSAN通信標準を規定するものである。 SAN を介して情報を交換する際にサポートしなければならないプロトコル、サービス、および挙動を規定しています。

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