SEMI E54.18 - 真空ポンプデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様 -

Abstract

注意:この文書は、SEMI E54 規格スイートとともに発行されなくなりました。別売りで発行・販売しております。

この仕様は、センサー/アクチュエータ ネットワークの SEMI 標準の実装を指定する一連の標準の一部です。この仕様の具体的な目的は、半導体装置のセンサー/アクチュエーター通信ネットワーク上のすべての真空ポンプ デバイス (VPD) に共通のデバイス オブジェクトで構成される、ネットワークに依存しないアプリケーション モデルを説明することです。

真空ポンプ デバイスのこの仕様は、センサー/アクチュエーター通信ネットワーク上で相互運用可能にするために VPD がサポートする必要がある最小限の属性、サービス、および動作を具体的に扱います。この仕様では、VPD を、機械式粗引きポンプ、ターボ分子ポンプ、極低温ポンプ、ブースター付き粗引きポンプを含むデバイスのクラスとして説明します。 VPD について説明されている属性、サービス、および動作は、ポンプ タイプごとに必須またはオプションです。各ポンプ タイプに固有の追加のメーカー固有の属性、サービス、および動作については、この仕様では詳しく説明しません。

この仕様は、製品の差別化とテクノロジーの進化に対する柔軟性を確保しながら、センサー/アクチュエーター通信ネットワーク上での高度なデバイスの相互運用性を確保することを目的としています。

この仕様で指定されている VPD モデルは、ネットワーク インターフェイスから見える真空ポンプを完全に記述するために、センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデル (CDM) と組み合わせて使用​​されます。

この仕様は、センサー/アクチュエーター ネットワーク標準、センサー/アクチュエーター ネットワーク CDM、およびセンサー/アクチュエーター ネットワーク通信仕様とともに、VPD の完全な相互運用性仕様を形成します。

この仕様に準拠するには、デバイスは少なくとも、この文書で特定されている必須の属性、サービス、および動作を実装し、サポートする必要があります。オプションの属性、サービス、および動作のサポートは、この仕様に準拠する必要はありません。オプションの属性、サービス、および動作は、機能が進化し、より多くのメーカーで採用されるにつれて、デバイスの相互運用性をさらに促進するために、これらのドキュメントで指定されています。オプションの属性、サービス、および動作がこのデバイスに実装されている場合は、このドキュメントで指定されているとおりに実装する必要があります。

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E54 — センサー/アクチュエーター ネットワーク規格
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの規格

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