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SEMI E54.18 - 真空ポンプ機器専用のセンサー／アクチュエータネットワークのデバイスモデルの仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本標準は、global Information & Control Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 .orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2006年3月発行。前版は2006年11月発行。
注意： 本書は、SEMI E54連続の基準として出版されず、単独で発行および販売される。
注意：本書は、編集上の修正を踏まえ再承認されました。
本仕様は、センサー／アクチュエータネットワークに関するSEMIスタンダードの実装を規定する連続の標準の一部として規定するものである。本仕様の目的は特に、ネットワークに依存しないアプリケーションモデルを説明することであり、そのモデルであるは半導体製造装置のセンサー／アクチュエータ用通信ネットワーク上の真空ポンプデバイス（ VPD ）すべてに共通なデバイスオブジェクトで構成するものである。
参照されるSEMI規格SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E54 — センサー/アクチュエーター ネットワーク規格
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの規格
SEMI E52 — デジタルマスフローコントローラで使用されるガスおよびガス混合物を参照するための実践
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