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SEMI E54.14 - PROFINET用センサー／アクチュエータネットワーク通信に関する仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2008年11月19日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認された。 orgで、そして2009 年3月にCD-ROMで入手可能となりました。初版は2005年3月に発行されました。
注意： 本書は、SEMI E54連続の基準として出版されず、単独で発行および販売される。
本仕様はSEMIセンサー／アクチュエータネットワーク（ SAN ）標準の一部であり、PROFINET標準を基本とした特定の通信プロトコルを定義する。本ネットワーク通信スタンダード（ NCS ）をSEMIセンサー／アクチュエータネットワーク・スタンダード・セットおよびPROFINET標準と合わせると、半導体製造装置に関してネットワーク化されたデバイスの共成の相互運用性に対する業界特有のソリューションを提供するオープン・基準が完全かつ明瞭に定義される。
PROFINETとはベンダーから独立した、オープンなフィールドバス・標準建築で、製造・プロセス・自動化の分野で広範囲アプリケーションに適用される。
PROFINETのアプリケーション・モデルはPROFIBUSのモデルと互換性があり、同じ規則が適用される。
PROFINETは自動化コントロール・システムと分散I/Oの間にデバイス・レベルで高速かつ低コストの接続性を確立できるよう最適化されています。
本書はSEMI E54.1準拠のPROFINET仕様に基づいたSAN通信標準を規定している。本書自体は、本基準に準拠してインテリジェント・デバイスがSEMI E39に準拠した方法を使ってSANで情報を交換するためにサポートしなければならないプロトコル、サービス、および挙動を規定している。
本ネットワーク通信スタンダード（ NCS ）および関連PROFINETスタンダードは、SEMIスタンダードSAN共通デバイス・モデル（ CDM ）仕様およびSEMIスタンダード特定デバイス・モデル（ SDM ）仕様（例えばマス・フロー・スレッド）とともに、ネットワーク上のさまざまなこの混合モデルは半導体製造装置に含まれているインテリジェント・センサー、アクチュエータ、およびプロトコル相互の通信に関する完全な相互運用性の基準となっています。
参照されるSEMI規格SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの規格
SEMI E54.3 — マスフローデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.10 — In-Situ粒子モニターデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.11 — エンドポイントデバイスの特定のデバイスモデル
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