SEMI E54.12 - CC-Link のセンサー/アクチュエーター ネットワーク通信の仕様 -

Abstract

注意: この文書は、SEMI E54 規格スイートとともに発行されなくなりました。別売りで発行・販売しております。

この仕様は、SEMI センサー/アクチュエータ ネットワーク (SAN) 規格スイートの一部であり、CC-Link 規格に基づいた特定の通信プロトコルを定義します。 SEMI SAN 標準スイートおよび CC-Link 標準と組み合わされたこのネットワーク通信標準 (NCS) は、半導体製造装置のネットワーク接続されたデバイスの既成の相互運用性に対する業界固有のソリューションを提供するオープン標準を完全かつ明確に定義します。

CC-Link は、ベンダーに依存しない、オープンなデバイス レベルのネットワーク標準です。ベンダーの独立性とオープン性は CC-Link パートナー協会によって保証されています。

この文書は、SEMI E54.1 に準拠した CC-Link 仕様に基づいた SAN 通信規格を規定します。そのため、SEMI E39 と互換性のある方法でこの SAN 上で情報を交換するために、準拠したインテリジェント デバイスがサポートする必要があるプロトコル、サービス、および動作を指定します。

SEMI SAN 共通デバイス モデル (CDM) 仕様および 1 つ以上の SEMI 固有デバイス モデル (SDM) 仕様 (マスフロー コントローラなど) と組み合わせて、関連する CC-Link 標準を備えたこの NCS は、データ構造、相互作用を記述します。ネットワーク上のさまざまなデバイスに特有の動作。この複合モデルは、半導体製造装置のインテリジェント センサー、アクチュエーター、コントローラー間の通信のための完全な相互運用性標準を形成します。

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデル
SEMI E54.3 — マスフローデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.10 — In Situ 粒子監視デバイス用のセンサー/アクチュエーター ネットワーク固有のデバイス モデルの仕様
SEMI E54.11 — エンドポイントデバイスの特定のデバイスモデル
SEMI E54.18 — 真空ポンプデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様

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