
SEMI E54.12 - CC-LINKのためのセンサー/アクチュエータ・ネットワーク通信に関する仕様 -
Abstract
本標準は、global Information & Control Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 .orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2001年5月発行。前版は2006年11月発行。
注意: 本書は、SEMI E54連続の基準として出版されず、単独で発行および販売される。
注意: この文書は、編集上の修正を考慮して再承認されました。
本仕様はSEMIセンサー/アクチュエータ・ネットワーク( SAN )標準・グループの一部であり、CC-Link標準に基づいた独自の通信プロトコルを規定するものである。 SEMI SANおよびCC-Link標準全部で一つのオープン・基準を完璧にそして明白に定義している。 その基準は半導体製造装置内でネットワーク化されたデバイスに標準仕様として相互運用性を持てるための業界独自の方法を提供することになります。
CC-Linkとはベンダーから独立した、オープンなデバイスレベル・ネットワーク・スタンダードである。ベンダーからの独立性およびオープン性はCC-Link協会によって保証されている。
参照されるSEMI規格
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデル
SEMI E54.3 — マスフローデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.10 — In-Situ粒子モニターデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
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