SEMI E54.11 - エンドポイント デバイスのセンサー/アクチュエーター ネットワーク固有のデバイス モデルの仕様 -

Abstract

注意:この文書は SEMI とともに発行されなくなりました。 E54 規格スイート。別売りで発行・販売しております。

この仕様は、一連の標準規格の一部です。 センサー/アクチュエーター ネットワークの SEMI 標準の実装を指定します。 この仕様の具体的な目的は、ネットワークに依存しないネットワークを説明することです。 すべてのエンドポイントに共通のデバイス オブジェクトで構成されるアプリケーション モデル 半導体装置のセンサー/アクチュエーター通信ネットワーク上のデバイス (EPD)。

EPD はプロセスを測定および監視するデバイスです 特定のしきい値またはイベントがいつ発生したかを判断するための特性 通常、プロセスまたはプロセスステップの完了を知らせるために取得されます。これらは EPD はプロセス エンドポイントを分類できるデバイスですが、これに限定されません。 プロセス環境内の粒子のサイズと数を決定する サンプル領域からの光学的光を検出し、決定するステップと、 環境のスペース、または機器コンポーネントのモーター電流の決定。

この仕様は、特に最小限の事項に対処します。 EPD が相互運用可能にするためにサポートする必要がある属性、サービス、および動作 センサー/アクチュエーター ネットワーク。

この仕様は、高度な センサー/アクチュエーター ネットワーク上でのデバイスの相互運用性を維持しながら、 製品の差別化とテクノロジーの進化に対する柔軟性。

この仕様で指定されているモデルは、次の用途で使用されます。 センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデル (CDM) と組み合わせて、 ネットワーク インターフェイスから表示される EPD を完全に記述します。

この仕様とセンサー/アクチュエーター ネットワーク標準、センサー/アクチュエーター ネットワーク CDM、センサー/アクチュエーター ネットワーク通信仕様、完全な相互運用性仕様を形成 EPDの場合。

この仕様に準拠するには、デバイスは以下を実装する必要があります。 少なくとも、必要な属性、サービス、および動作をサポートします。 これらの文書で特定されています。オプションの属性、サービス、および 動作がこの仕様に準拠する必要はありません。オプション 属性、サービス、および動作は、促進するためにこれらの文書で指定されています。 機能が進化し、より多くの企業に採用されるにつれて、デバイスの相互運用性がさらに向上 メーカー。オプションの属性、サービス、動作が実装されている場合 このデバイスでは、この仕様で指定されているように実装する必要があります。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E39 — オブジェクトサービスの仕様: 概念、 行動とサービス

SEMI E54 — センサー/アクチュエーター ネットワークの仕様

SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワークの仕様 共通デバイスモデル

改訂履歴

SEMI E54.11-0316 (再承認 0721)

SEMI E54.11-0316 (技術改訂)

SEMI E54.11-1106 (再承認 1211)

SEMI E54.11-1106 (技術改訂)

SEMI E54.11-1105 (技術改訂)

SEMI E54.11-0301 (初公開)

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