SEMI E54.10 - In-Situ 粒子監視デバイス用のセンサー/アクチュエーター ネットワーク固有のデバイス モデルの仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 10 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2000 年 5 月。以前は 2011 年 11 月に出版されました。

注意: この文書は、SEMI E54 規格スイートとともに発行されなくなりました。別売りで発行・販売しております。

この仕様は、センサー/アクチュエーター ネットワークの SEMI 標準の実装を指定する一連の標準の一部です。この仕様の具体的な目的は、半導体装置のセンサー/アクチュエータ通信ネットワーク上のすべての in situ 粒子モニター デバイスに共通のデバイス オブジェクトで構成されるネットワークに依存しないアプリケーション モデルを記述することです。

in situ 粒子モニター (ISPM) は、粒子を測定およびカウントするデバイスです。これらのデバイスは、環境空間のサンプル領域からの光を検出するなどの技術を利用して、環境 (気体、液体、または真空) 内の粒子をサイズと数によって分類します。これらのカウントはビンに蓄積され、レポートされます。ビンの数はベンダーやモデルによって異なります。

この仕様は、センサー/アクチュエーター ネットワーク上で相互運用可能にするために ISPM デバイスがサポートする必要がある最小限の属性、サービス、および動作を具体的に扱います。

この仕様は、製品の差別化と技術の進化に対する柔軟性を確保しながら、センサー/アクチュエーター ネットワーク上での高度なデバイスの相互運用性を確保することを目的としています。

この仕様で指定されたモデルは、ネットワーク インターフェイスから見える ISPM を完全に記述するために、センサー/アクチュエータ ネットワーク共通デバイス モデル (CDM) の標準である SEMI E54.1 と組み合わせて使用​​されます。

この仕様は、SEMI E54、SEMI E54.1、およびセンサー/アクチュエータ ネットワーク通信仕様の 1 つと合わせて、ISPM の完全な相互運用性仕様を形成します。

この仕様に準拠するには、デバイスは少なくとも、これらの文書で特定されている必須の属性、サービス、および動作を実装し、サポートする必要があります。オプションの属性、サービス、および動作のサポートは、この仕様に準拠する必要はありません。オプションの属性、サービス、および動作は、機能が進化し、より多くのメーカーで採用されるにつれて、デバイスの相互運用性をさらに促進するために、これらのドキュメントで指定されています。オプションの属性、サービス、および動作がこのデバイスに実装されている場合は、このドキュメントで指定されているとおりに実装する必要があります。

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E54 — センサー/アクチュエーター ネットワークの仕様
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの仕様

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.