SEMI E54.9 - TCP/IPでのMODBUS/TCPのためのセンサー／アクチュエータ・ネットワークに関する通信仕様 -

Abstract

本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2008年5月13日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認された。 orgで、そして2008年7月にCD- ROMで入手可能となりました。 初版は2000年2月発行、前版は2006年7月に発行されました。

注意： 本書は、SEMI E54連続の基準として出版されず、単独で発行および販売される。

本スタンダードはトランスミッション・コントロール・プロトコル／インターネット・プロトコル（ TCP/IP ）・ネットワークでのModbus/TCPプロトコルに基づく通信仕様を定義する。これは、センサー／アクチュエータ・ネットワーク（ SAN ）上にあって、半導体製造ツールのSEMI規定の（共通およびデバイス独自の）デバイスモデルに従って作動するインテリジェント・デバイス相互の通信を可能にするものである。

背景および動機

TCP/IP上のModbus/TCPはコンポーネント・レベルのネットワークであり、コントロール・レベルの工業用デバイス（センサーおよびアクチュエータなど）およびコールなどのハイレベル・デバイス間の、簡単で高速、そして安価なデータ交換の方法を提供する。 TCP/IP上の Modbus/TCPが提供するものは下記のとおりである。

• ローレベルなデバイス・ネットワーキングを解決する方法，

• ローレベルなデバイスに存在するインテリジェンスへのアクセス

• よりハイレベルの叫び 相互のネットワーキング

• マスター／スレーブ通信性能およびピア・ツー・ピア通信性能

Modbus/ TCPは通信モデルとプロトコルを規定する。物理層、データ・リンク層、およびネットワーク層の定義は、TCP/IPイーサネットなど、Modbus/TCPプロトコルが確定されているネットワークが定義する。

本書には共通デバイス・ネットワークおよび特定デバイス・ネットワークの明白な構造および挙動をTCP/IPネットワーク上のModbus/ TCPへ検討したものが記されており、それによってSEMI準拠のSANにあるインテリジェント・デバイスその間通信を可能にします。

本書はこの半導体装置センサー／アクチュエータ・ネットワークで情報を交換するために基準に従ってインテリジェント・デバイスがサポートされなければプロトコルおよびサービスを規定する。

本書ではデバイス構造および挙動を外部から明白に表現するためにModbus/TCPプロトコルを利用する方法が規定されている。 （ CDM ）および該当する特定デバイスモデル（ SDM ）で規定されているものである。

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