SEMI E54.8 - PROFIBUS-DP のネットワーク通信用センサー/アクチュエーターの仕様 -

Abstract

この規格は、世界的な情報管理委員会によって技術的に承認されました。この版は、2008 年 11 月 19 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2009 年 2 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1999 年 9 月に発行されました。以前は 2005 年 3 月に出版されました。

注意: このドキュメントは、SEMI E54 規格スイートとともに発行されなくなりました。別売りで発行・販売しております。

この仕様は、SEMI センサー/アクチュエーター ネットワーク (SAN) の標準スイートの一部であり、PROFIBUS 標準に基づいた特定の通信プロトコルを定義します。このネットワーク通信規格 (NCS) は、SEMI センサー/アクチュエータ ネットワーク標準スイートおよび PROFIBUS 標準と合わせて、半導体製造装置のネットワーク接続されたデバイスの既製の相互運用性に対する業界固有のソリューションを提供するオープン標準を完全かつ明確に定義します。

PROFIBUS は、製造、プロセス、およびビルディングオートメーションにおける幅広いアプリケーション向けの、ベンダーに依存しないオープンフィールドバス標準です。ベンダーの独立性とオープン性は、PROFIBUS の IEC 規格、IEC 61158 パート 2、パート 3-3 ～ パート 6-3、および IEC 61784-1 によって保証されています。 PROFIBUS は、デバイス レベルでのオートメーション制御システムと分散 I/O 間の高速かつ安価な接続のために最適化されています。

この文書は、SEMI E54.1 に準拠した PROFIBUS 仕様に基づいた SAN 通信規格を規定します。そのため、SEMI E39 と互換性のある方法でこの SAN 上で情報を交換するために、準拠したインテリジェント デバイスがサポートする必要があるプロトコル、サービス、および動作を指定します。

SEMI 標準の SAN 共通デバイス モデル (CDM) 仕様および 1 つ以上の SEMI 標準の特定デバイス モデル (SDM) 仕様 (マス フロー コントローラ、現場粒子モニタ デバイス、またはエンドポイント デバイスなど) と組み合わせて、このネットワーク通信は、標準 (NCS) と関連する PROFIBUS 標準は、ネットワーク上のさまざまなデバイスの特徴であるデータ構造、相互作用、および動作を記述します。この複合モデルは、半導体製造装置のインテリジェント センサー、アクチュエーター、コントローラー間の通信のための完全な相互運用性標準を形成します。

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの規格
SEMI E54.3 — マスフローデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.10 — In-Situ粒子モニターデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.11 — エンドポイントデバイスの特定のデバイスモデル
SEMI E54.18 — In-Situ粒子モニターデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様

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