SEMI E54.4 - DeviceNet 用のセンサー/アクチュエーター ネットワーク通信の仕様 -

Abstract

この規格は、半導体製造ツールの SEMI 指定デバイス モデル (共通およびデバイス固有) に従って動作するセンサー/アクチュエータ ネットワーク (SAN) 上のインテリジェント デバイス間の通信を可能にする、DeviceNet® プロトコルに基づく通信仕様を定義します。

背景と動機 — DeviceNet は、単純な産業用デバイス (センサーやアクチュエーターなど) とコントローラーなどのより高いレベルのデバイス間のネットワークを提供します。 DeviceNet は以下を提供します。

• 低レベルのデバイス ネットワーキングのソリューション。
• 低レベルのデバイスに存在するインテリジェンスへのアクセス。
• マスター/スレーブおよびピアツーピア機能。

DeviceNet は、コントローラー エリア ネットワーク (CAN) テクノロジーに基づいています。 CAN は、メディア アクセス制御 (MAC) 方法論と物理的な信号特性を定義します。 DeviceNet は、通信モデルとプロトコルだけでなく、CAN の完全な物理層定義をラップして、完全なネットワーク定義を提供します。

この仕様は、共通および特定のデバイス ネットワークの可視構造と動作のプレゼンテーション マッピングを DeviceNet ネットワークに提供することにより、SEMI 準拠の SAN 上のインテリジェント デバイス間の通信を可能にします。

この規格は、この半導体装置の SAN を介して情報を交換するために、準拠したインテリジェント デバイスがサポートする必要があるプロトコルとサービスを指定します。

この規格は、共通デバイス モデル (CDM) および適切な特定デバイス モデル (SDM) で指定されている、外部から見えるデバイスの構造と動作を DeviceNet ネットワーク上で提示するための DeviceNet プロトコルの利用を指定します。

この仕様は、SEMI E54.1、センサー/アクチュエータ ネットワーク共通デバイス モデルの仕様、および 1 つ以上の SEMI 規格固有のデバイス モデル仕様 (マスフロー コントローラ [MFC] など) と組み合わせて使用​​されます。これらは、SEMI 準拠の SAN システムの DeviceNet ネットワーキング機能を使用して、外部から見えるデータ構造とデバイスの動作を説明します。

この標準は、SAN 相互運用性ガイドライン、SAN CDM、1 つ以上の SAN 固有のデバイス モデル文書、および DeviceNet 仕様とともに、完全な相互運用性標準を形成します。一般的な SAN ドキュメント アーキテクチャは、 図 1 のセンサー/アクチュエータ ネットワーク共通デバイス モデル標準に示されています。

参照SEMI規格（別途購入）
SEMI E30 — SEMI 機器の通信および制御のための汎用モデルの仕様 (GEM)
SEMI E39 — オブジェクトサービスの仕様: 概念、動作、およびサービス
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの仕様
SEMI E54.3 — マスフローデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.10 — In Situ 粒子監視デバイス用のセンサー/アクチュエーター ネットワーク固有のデバイス モデルの仕様
SEMI E54.11 — エンドポイントデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.18 — 真空ポンプデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.22 — 真空圧力計のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.24 — 汎用機器ネットワークセンサー (GENSen) のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有デバイスモデルの仕様

改訂履歴
SEMI E54.4-0422 (技術改訂)
SEMI E54.4-0316 (技術改訂)
SEMI E54.4-1111 (技術改訂)
SEMI E54.4-0704 (技術改訂)
SEMI E54.4-0997 (最初に発行 - SEMI E59 を置き換え)

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