SEMI E54.3 - マスフローデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様 -

Abstract

注意:この文書は SEMI とともに発行されなくなりました。 E54 規格スイート。別売りで発行・販売しております。

注意: この文書は軽微な編集を加えて再承認されました 変化します。

この仕様は、一連の標準規格の一部です。 センサー/アクチュエーター ネットワークの SEMI 標準の実装を指定します。 この仕様の具体的な目的は、ネットワークに依存しない、 すべての質量流量に共通のデバイス オブジェクトで構成されるアプリケーション モデル 半導体装置上のデバイス (MFD) センサー/アクチュエーター通信 通信網。

この仕様では、特に最小限の属性について説明します。 サービス、マスフローコントローラー (MFC) とマスフローメーター (MFM) の動作 デバイスは、センサー/アクチュエーター ネットワーク上での相互運用をサポートする必要があります。

この仕様は、高度な センサー/アクチュエーター ネットワーク上でのデバイスの相互運用性を維持しながら、 製品の差別化とテクノロジーの進化に対する柔軟性。

この仕様で指定されているモデルは、次の用途で使用されます。 センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデル (CDM) と組み合わせて、 ネットワーク インターフェイスから表示される MFC または MFM を完全に説明します。

この仕様とセンサー/アクチュエーター ネットワーク規格、センサー/アクチュエーターネットワーク共通デバイスモデル、および センサー/アクチュエーターのネットワーク通信仕様、完全な相互運用性を形成 MFC および MFM の仕様。

この仕様に準拠するには、デバイスは以下を実装する必要があります。 少なくとも、必要な属性、サービス、および動作をサポートします。 これらの文書で特定されています。オプションの属性、サービス、および 動作がこの仕様に準拠する必要はありません。オプション 属性、サービス、および動作は、促進するためにこれらの文書で指定されています。 機能が進化し、より多くの企業に採用されるにつれて、デバイスの相互運用性がさらに向上 メーカー。オプションの属性、サービス、動作が実装されている場合 このデバイスの場合、この規格で指定されているとおりに実装する必要があります。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E12 — 標準化された圧力、温度、 マスフローメータおよびマスフローコントローラで使用される密度および流量の単位

SEMI E39 — オブジェクトサービスの仕様: 概念、 行動とサービス

SEMI E52 — ガスおよびガス混合物を参照するための練習 デジタルマスフローコントローラーで使用 (SEMI AUX030に置き換えられました)

SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワークの仕様 共通デバイスモデル

改訂履歴

SEMI E54.3-0698 (再承認 0721)

SEMI E54.3-0698 (再承認 0616)

SEMI E54.3-0698 (再承認 1110)

SEMI E54.3-0698 (再承認 0704)

SEMI E54.3-0698 (初公開)

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