SEMI E43 - 物体および表面上の静電気測定のためのガイド -

Abstract

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本基準は、Metrics Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2013年6月4日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2013年8月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1995 年発行。前版は 2008年 11月発行。

本書の目的は，以下に記載する範囲および制限と一致する，または物体上の静電気電荷の再現性のある測定方法に関するガイダンスを提供することである。

ここに説明する測定方法は、半導体製造環境における物体および表面上の一般的な静電気電荷、電圧、電界レベル、および静電気放電(ESD)の特性を表すために利用できる。 ，補正，および技術測定を説明している。 付属書には，機器の具体例および補正手順に関する予備情報に加えて有益な一般的な静電気調査に関する情報およびアドバイスを含んでいる。

SEMI E33 — 半導体製造装置の電磁両立性 (EMC) に関するガイド

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