SEMI E35 - 半導体製造装置の所有コスト (COO) 指標を計算するためのガイド -

Abstract

このガイドの目的は、半導体および関連業界の製造装置の単位生産コスト効率を評価するための標準的な所有コスト (COO) 指標を提供することです。

このガイドは、包括的で制約のある環境を構築するために必要な定義、分類、アルゴリズム、方法、および値の例を提供することにより、環境、健康、安全 (EHS) 要因に関連するコストを含む機器関連コストの理解を容易にする手順を確立します。 、またはモニターCOO計算機。

このガイドは、集積回路 (IC) ウェーハやデバイスなど、半導体ユニットを処理するあらゆる種類の装置に適用できます。また、フラットパネルディスプレイ（FPD）、太陽光発電（PV）、微小電気機械システム（MEMS）、高輝度発光ダイオード（HB-LED）、ハードディスクの処理のためのあらゆる種類の製造装置にも適用可能です。ドライブ (HDD) または他のタイプの生産ユニット。一部の用語は、IC ウェーハおよびデバイスの製造に特化しています。

COO モデルを構築するためにメトリクスを効果的に使用するには、制約とデータ値を特定する必要があります。可能であれば、入力値を二次モデルから導出したり、サンプル値を使用したりするのではなく、直接値を使用してください。

COO の完全な計算には、多くの場合、独自に保持されるデータが必要であり、工場全体の歩留まりおよび関連する歩留まり損失のコストと結びついています。このガイドは、工場内および設備の最適化、投資評価、設備の設計とプロセスの改善に使用できることが想定されています。

参照SEMI規格（別途購入）
SEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性（RAM）および使用率の定義と測定に関する仕様
SEMI E72 — 機器の設置面積、高さ、重量の仕様とガイド
SEMI E89 — 測定システム分析 (MSA) のガイド
SEMI E79 — 機器の生産性の定義と測定に関する仕様
SEMI S12 — 製造装置の汚染除去に関する環境、健康、安全ガイドライン
SEMI S16 — 耐用年数終了時の環境影響を低減するための半導体製造装置設計ガイド
SEMI S23 — 半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティ、材料の節約に関するガイド

改訂履歴
SEMI E35-1022 (技術改訂)
SEMI E35-0618 (技術改訂)
SEMI E35-0312 (技術改訂)
SEMI E35-0307 (技術改訂)
SEMI E35-0305 (完全な書き換え)
SEMI E35-0304 (指定の更新)
SEMI E35-0701 (技術改訂)
SEMI E35-0200 (技術改訂)
SEMI E35-0299 (技術改訂)
SEMI E35-95 (初公開)

SEMI E35.1-95 (撤回 0304)
SEMI E35.1-95 (初公開)

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