SEMI E34 - マスフローデバイス返還のためのガイドライン -

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。

免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本安全ガイドラインは、その使用に関係する全ての安全事項を遵守することを主張するものではない。は、本ガイドラインの使用者の義務である。

マスフロー機器（マスフローコントローラー，マスフロメーターおよび制御バルブ）が，半導体装置に化学物質の供給システムの構成要素部分として使われる。これらの化学薬品に一度暴露され、仮に取扱が適切に対処され、汚染されたマスフロー機器は、装置の修理要員および装置に危険を考慮しようとするものである。

このガイドラインに概説した手順を実行することは、ガスもしくは制御用ガスのモニターと制御に使われ、潜在的に危険なマスフローデバイスを、輸送および/もしくは受入れ時に関係したリスクを、減らすためのテクニックを与える。

このガイドラインは次のことを意図している：

入手時のリスクを軽減するために取外しに先立って、危険物質を使用するデバイスのパージを、推奨し促進すること。

危険の性質に応じて、危険の可能性のあるマスフローデバイスの受け入れを警戒すること。

オレンジ色札および健康あるいは安全表示書式を使って、危険な可能性のあるマスフロー機器を正しく見分け、文書で示す考察を確立すること。

なし。

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.