SEMI E33 - 半導体製造装置の電磁適合性（EMC）のためのガイド -

Abstract

本標準は、global Metrics Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年8月30日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1994年発行。

注意:本書は、 2012年に全面的に改訂されたものです。

このガイドの目的は、半導体デバイスの製造に使用される半導体製造装置が、電磁障害（EMI:electromagnetic Interference）に発生する故障がなく、信頼して運転することを確実にする手助けのための推奨であるこの突然の特性は「電磁適合性」（ EMC：電磁両立性）として一般に知られている。

ここに含まれる装置の種類は、通信装置、制御装置、プロセス装置、計量装置、検査装置、自動装置、および情報技術装置でいくつかの用語は、半導体の設備・装置に特化される。

本ガイドの主な焦点は，半導体デバイスの製造に使用される半導体製造装置であるが，本ガイドは，関連製品（例，液晶やMEMS ）の製造に使用される装置に適用される場合もある。

SEMI E78 — 機器の静電気放電 (ESD) および静電気吸引 (ESA) を評価および制御するためのガイド
SEMI F47 — 半導体処理装置の電圧低下耐性の仕様

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