E01200 - SEMI E12 - マスフローメータおよびマスフローコントローラで使用される標準化された圧力、温度、密度、および流量単位のガイド

SEMI E12 - マスフローメータおよびマスフローコントローラで使用される標準化された圧力、温度、密度、および流量単位のガイド -

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Non-Member Price: ¥31,900

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: English

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Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI E12-0421 - 現在

リビジョン

Abstract

過去には、価値観に混乱が存在していました。 ガス流量を次のように表すと標準温度と標準圧力になります。 「標準」体積単位。この混乱を解消するには、マス フロー 管理者委員会がこの基準を制定しました。


この規格は通信のための共通の基盤を提供します メーカーとユーザーの間で。

参照されるSEMI規格 (別途購入してください)

なし。

改訂履歴

SEMI E12-0421 (技術改訂)

SEMI E12-1213 (技術改訂)

SEMI E12-0303 (再承認 0309)

SEMI E12-0303 (技術改訂)

SEMI E12-96 (技術改訂)

SEMI E12-91 (技術改訂)

SEMI E12-86 (初公開)

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