SEMI E10 - 機器の信頼性、可用性、保守性（RAM）および使用率の定義と測定に関する仕様 -

Abstract

この仕様は、製造環境における機器の信頼性、可用性、保守性 (RAM) と使用率パフォーマンスを測定するための標準化された方法論を提供します。これは、機器モジュール、非クラスタ ツール、シングルパスおよびマルチパス クラスタ ツールなどを含むすべての機器システムに適用されます。標準的な測定方法、用語、計算を確立することにより、SEMI E10 はユーザーとサプライヤー間のコミュニケーションを改善し、半導体および関連産業の製造能力を強化します。

この仕様は、製造環境における装置の信頼性、可用性、保守性 (RAM) および使用パフォーマンスを測定するための標準化された方法論を提供することにより、半導体および関連産業における製造装置のユーザーとサプライヤー間のコミュニケーションの共通基盤を確立します。

この仕様は、観測期間中の機器システムのすべての条件および関連する期間について、相互に排他的な 6 つの基本的な機器状態を定義します。計画外ダウンタイム状態 (UDT) と呼ばれる機器状態の 1 つは、機器システムの「障害」状態を定義します。この仕様における機器システムの信頼性の測定は、機器システムの故障と機器システムの使用状況との関係に焦点を当てています。

ここで定義されているすべてのメトリクスは、サブシステム、非クラスター ツール、シングルパス クラスター ツール (SPCT)、マルチパス クラスター ツール (MPCT) 内の機器モジュール、機器モジュールの対象プロセス セット (IPS)、および MPCT を含む機器システムに適用できます。この仕様では、最初に IPS のパフォーマンスを機器モジュール レベルのパフォーマンスの関数として定義し、次に MPCT のパフォーマンスを IPS パフォーマンスの関数として定義することにより、MPCT の RAM と使用率の測定の処理を定義します。表示される各メトリックについて、IPS および MPCT に必要な特別な処理が定義されています。

この仕様では、以下の基本的なメトリクスを定義します。

• 信頼性 — 平均故障間隔 (MTBF)、平均故障間隔 (MCBF)、平均故障間隔 (MWBF) が含まれます。

• 可用性 — 合計稼働時間、運用稼働時間、機器に依存する稼働時間、およびサプライヤーに依存する稼働時間を含みます。

• 保守性 — 平均修復時間、平均予防保守（実行）時間、平均オフライン時間、総故障率、および減損率を含みます。

• 使用率 — 合計使用率と運用使用率を含みます。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM) の仕様

SEMI E35 — 半導体製造装置の所有コスト (COO) 指標を計算するためのガイド

SEMI E58 — 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス

SEMI E79 — 機器の生産性の定義と測定に関する仕様

SEMI E116 — 機器性能追跡の仕様

改訂履歴

SEMI E10-0422 (技術改訂)
SEMI E10-0221 (技術改訂)

SEMI E10-0814E (編集改訂版)

SEMI E10-0814 (完全な書き換え)

SEMI E10-0312 (完全な書き換え)

SEMI E10-0304E (編集改訂版)

SEMI E10-0304 (技術改訂)

SEMI E10-0701 (技術改訂)

SEMI E10-0301(技術改訂)

SEMI E10-0600 (技術改訂)

SEMI E10-0699E (編集改訂版)

SEMI E10-0699 (技術改訂)

SEMI E10-0299 (技術改訂)

SEMI E10-96 (技術改訂)

SEMI E10-92 (技術改訂)

SEMI E10-86 (初公開)

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