SEMI E5 - SEMI 장비 커뮤니케이션 표준2 메세지 내용 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2013 年 6 月 4 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2013 年 8 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1982 年に発行されました。以前は 2012 年 7 月に出版されました。

SEMI Equipment Communications Standard Part 2 (SECS-II) は、インテリジェント機器とホスト間で交換されるメッセージの解釈の詳細を定義しています。この仕様は、日本電子工業開発協会の機器通信に関する委員会 12 と協力して開発されました。

この規格の目的は、SEMI E4、機器通信規格 (SECS-I) と完全に互換性があることです。また、代替メッセージ転送プロトコルとの互換性を可能にすることも目的です。メッセージ転送プロトコル要件の詳細は、§ 6 に記載されています。

この標準の目的は、個々の機器に関する最小限の知識だけで一貫したホスト ソフトウェアを構築できるような詳細レベルまでメッセージを定義することです。機器は、ホストに関する最小限の知識だけで構築できます。

この規格で定義されているメッセージは、IC 製造に必要な最も一般的なアクティビティをサポートします。この規格では、標準メッセージではカバーされていないアクティビティをサポートするための機器固有のメッセージの定義も規定しています。特定のアクティビティはホストの共通ソフトウェアで処理できますが、機器の全機能をサポートするには機器固有のホスト ソフトウェアが必要になる場合があることが予想されます。

SECS-II は、SECS-I などのメッセージ転送プロトコルを使用して機器とホスト間で交換されるメッセージに形式と意味を与えます。

SECS-II は、機器とホストの間でメッセージの形式で情報を伝達する方法を定義します。これらのメッセージは、ストリームと呼ばれるアクティビティのカテゴリに編成され、ストリームには関数と呼ばれる特定のメッセージが含まれます。情報の要求とそれに対応するデータ送信は、そのようなアクティビティの一例です。

SECS-II は、メッセージの構造をアイテムとアイテムのリストと呼ばれるエンティティに定義します。この構造により、メッセージの適切な解釈を保証する自己記述データ形式が可能になります。

メッセージの交換は、トランザクション プロトコルと呼ばれるメッセージを処理するための一連のルールによって管理されます。トランザクション プロトコルは、SECS-II 実装にいくつかの最小要件を課します。

SEMI E4 — SEMI 機器通信標準 1 メッセージ転送 (SECS-I)

SEMI E6 — 半導体装置設置ガイド ドキュメント

SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス

SEMI E148 —時刻同期の仕様とTS-Clockオブジェクトの定義

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