SEMI E5 - 半導体製造装置通信標準2 メッセージ内容（SECS-II） -

Abstract

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SEMI 半導体製造装置通信標準2 （ SECS -II ）は，インテリジェント装置とホスト間で交換メッセージの解釈について詳細に定義している。 の協力により規定された。

SECS-II は、半導体製造装置通信標準1 （ SECS-I ）および他のメッセージトランスファプロトコルと互換し得るスタンダードである。メッセージトランスファプロトコルについては、§6に詳しく説明されている。

個々の装置について最もの情報でホスト側のソフトウェアが構築できる段階までメッセージ定義を可能とする、これがSECS-IIの目的である。の構築が可能となります。

SECS-II で定義するメッセージは、 IC 製造に要求される典型的な処理をサポートしている。通常の処理は、ホストの共通ソフトウェアで扱えることが、装置のすべての機能をサポートするためには装置固有のホストソフトウェアが必要となることがある。

SECS-II は、 SECS-I のようなメッセージトランスファプロトコルを使って、装置とホスト間で交換されるメッセージに、形式と意味を与えている。

SECS-II は、装置とホスト間でメッセージという形で情報を伝達するための方法を定義している。 （ファンクション）。情報の要求とそれに応じるデータの転送はこの機能の一例である。

SECS-II は、アイテムとアイテムリストというもので、メッセージの構造を定義している。この構造により、メッセージを正しく解釈するために、データ形式をデータ自体で定義することができる。

メッセージ交換は，暫定プロトコルと呼ばれる手順により実行される。

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