SEMI E4 - SEMI 機器通信規格 1 メッセージ転送仕様 (SECS-I) -

Abstract

この規格は、独立した メーカーは、接続なしで接続できる機器やホストを製造します。 お互いについての特別な知識が必要です。この規格はコミュニケーションです SECS/GEM メッセージがどのように転送されるかを定義するプロトコル 半導体装置とホスト。 SEMI E37はTCP/IPベースで使用されますが、 通信には、シリアルベースの通信に SEMI E4 が使用されます。

この規格は、独立した メーカーは、接続なしで接続できる機器やホストを製造します。 お互いについての特別な知識が必要です。

SECS-I 標準は通信インターフェイスを定義します 半導体プロセス間のメッセージ交換に適しています 機器とホスト。半導体処理装置には装置が含まれます ウェーハ製造、ウェーハ処理、プロセス測定、組み立てを対象としています。 そして梱包。ホストとは、情報を交換するコンピュータまたはコンピュータのネットワークです。 情報と設備を組み合わせて製造を実現します。この規格 物理コネクタ、信号レベル、データレートの説明が含まれます。 およびホストとホストの間でメッセージを交換するために必要な論理プロトコル シリアル ポイントツーポイント データ パス経由で機器に接続します。この規格では定義されていません メッセージ内に含まれるデータ。メッセージの意味を判断する必要がある SEMI E5、SEMI仕様などのメッセージコンテンツ標準を介して 機器通信標準 2 メッセージ コンテンツ (SECS-II)。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E5 — SEMI機器通信の仕様 標準2メッセージ内容（SECS-II）

SEMI E6 — 半導体装置設置ガイド ドキュメンテーション

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