SEMI E1 - オープンプラスチックおよび金属ウェーハキャリアの仕様 -

Abstract

注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。

この仕様は寸法要件を提供します 3の処理と取り扱いに使用されるプラスチックおよび金属ウェーハキャリア用 インチ、直径 100 mm、125 mm、および 150 mm のウェーハ。関連するものも含まれます 直径 200 mm のウェーハ キャリアに関する情報ですが、仕様ではありません。

この仕様には 2 つの分類があります。 一般的な使用法 および自動車輸送の使用。

- 一般的な使用法は、3 インチ、100 をカバーする基本的なガイドラインです。 mm、125mm、150mmのウェハサイズ。

- 自動輸送の使用は、使用状況を満たすことを目的としています。 ウェーハキャリアと自動ウェーハのインターフェースの要件 加工装置。自動搬送の使用量は 125 mm のウェーハ サイズをカバーします。

いくつかの関連情報があります（歴史的に興味深い、 ただし、要件の一部ではありません）200 mm のウェーハ サイズでは。

これらの仕様を満たすには、キャリアを製造する必要があります 寸法制限内にあり、寸法が安定していること。 メーカーの推奨に従って使用した場合の仕様。

参照SEMI規格（別途購入）

なし。

改訂履歴

SEMI E1-1110 (再承認0816)

SEMI E1-1110 (技術改訂)

SEMI E1-0310 (完全な書き換え)

SEMI E1-0697 (再承認 1102)E (編集改訂)

SEMI E1-0697 (再承認 1102)

SEMI E1-0697 (技術改訂)

SEMI E1-78 (初公開)

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