SEMI D54 - FPD 製造の基板管理仕様 (SMS-FPD) -

Abstract

この規格は、世界的なフラット パネル ディスプレイ – ファクトリー オートメーション委員会によって技術的に承認されました。この版は、2009 年 5 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。この版は、2009 年 6 月に www.semi.org で入手可能になりました。

E この規格は、編集上の誤りを修正するために 2009 年 10 月に編集的に修正されました。 ¶¶ 7.3.4.2、10.2.3.4、10.2.3.5、および 10.2.3.6 に変更が加えられました。

FPDの生産ラインでは自動化の進化が進んでいます。しかし実際には、各工場は独自の仕様で機器を制御しています。このため、自動化コストや設備のリードタイムの​​面で多大な損失が発生しています。また、FPD生産における基板の大型化に伴い、枚葉式の基板搬送など新たな需要への対応の必要性が高まっています。この文書では、FPD 工場の自動マテリアル ハンドリング システム (AMHS) と装置間での基板の自動搬送の標準動作について説明します。

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SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス

SEMI E40 — 処理管理の標準

SEMI E41 — 例外管理 (EM) 規格

SEMI E53 — イベントレポート

SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様

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