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SEMI D54 - FPD生産における基板管理(SMS-FPD)のための仕様 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、 グローバルフラット パネル ディスプレイ – ファクトリ オートメーション委員会で技術的に承認されています。現版は2009年5月13日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認されました。 .semi.org で、そして2009 年7 月にCD-ROM で入手可能となりました。
本書は
2009 年10 月に編集上に修正がなされた。 ¶¶ 7.3.4.1 、 10.2.3.4 、 10.2.3.5 、 10.2.3.6. に変更が加えられている。FPD
生産現場において自動化の対応が進んでいるが、現状は各工場が独自の仕様製造装置の制御を行っている。また、基板サイズがより大きなものへと移行することにより基板の枚葉搬送など新たなニーズに対応する必要があるもある。本書は、FPD生産現場において自動材料搬送システム( AMHS )や製造装置の基板受け渡しに関する自動化のための標準的な挙動を伴うものである。本書は、
FPD 生産現場に導入される製造装置への基板搬入出を行うためのトランスファポイント（受け渡しポジション）におけるホスト・製造装置間の通信を扱う基本である。本書は、自動および手動での基板搬送についてホストが情報を知り、その役割を実行しやすい基準を定義するものである。具体的には、以下の内容を提供する。
- 製造装置上のトランスファポイント（受け渡し位置）のオブジェクト定義
- 製造装置上のトランスファポイント（受け渡しポジション）のオブジェクト状態モデル
- 製造装置上のトランスファポイント（受け渡しポジション）のオブジェクトへのサービスコマンド
- 製造装置上のトランスファポイント（受け渡しポジション）の挙動
本書は、製造装置における基板搬入出を行うための受け渡しポジションを明確に定義し、基板受け渡しの制御を行う上で有用となるインターフェースに関する記述を行っているが、工場内に設置された基板搬入出を行うための
AMHS にも適用可能である。 なお、それらの製造装置以外に適用する場合は、各設備メーカーにて適用性を判断し、実装すべきである。 参照されるSEMI規格SEMI D51 — FPD製造におけるツールのオフ/オン処理のための単一基板のハンドシェイクプロトコルの仕様 SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM) SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス SEMI E40 — 処理管理の標準 SEMI E41 — 例外管理 (EM) 規格 SEMI E53 — イベントレポート SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様
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