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SEMI D53 - フラット パネル ディスプレイ (FPD) ペリクルの仕様 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様は標準スタンドオフを定義します。 マスクに使用されるペリクル膜の透過率と強度。
これらの寸法は、マスクのペリクルに適用されます。 主にフラットパネルディスプレイの製造に使用されます。マスクのサイズは次のように指定されます。 330 × 450 mm ～ 1220 × 1400 mm の範囲。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI D6 — 液晶ディスプレイ (LCD) の仕様 マスク基板
改訂履歴
SEMI D53-0421 (技術改訂)
SEMI D53-0708 (再承認 0815)
SEMI D53-0708 (初公開)
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