SEMI D52 - 基板IDの基準位置に関する仕様 -

Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100

Volume(s): Flat Panel Display
Language: Japanese



Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI D52-0708E - 非アクティブ

リビジョン

Abstract

本基準は、

global Flat Panel Display – Factory Automation Committeeで技術的承認れている。現版は2008 5 13 global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 で、そして2008 7 月にCD-ROM で入手可能となりました。

E

この文書は2008 9月に、誤字を修正するため、編集上修正がなされまし

本スタンダードでは、

D32 で規定されたベア・ガラスID の位置の規定は一箇所であり、大型化に伴い運用効率上複数の基板IDが必要である。そのため、D32を基本として効率的な運用を確立する基板ID位置を規定するものである。

本スタンダードでは、基板

ID 位置を2 次元コード基準で位置を規定する。

個別に区別が必要なベア・ガラス

ID もしくはレジンID と呼ぶが、区別不必要な場合には総称として基板ID と呼ぶ。

参照されるSEMI規格

なし。

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