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SEMI D51 - FPD製造におけるオフ/オンツールのハンドリングのための単一基板のハンドシェイク方法の仕様 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的なフラット パネル ディスプレイ – ファクトリー オートメーション委員会によって技術的に承認されました。この版は、2009 年 5 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2009 年 6 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 2008 年 3 月に発行されました。
FPD生産における基板サイズの大型化に伴い、自動マテリアルハンドリングシステム（AMHS）、ロボット、コンベアを広範囲に組み合わせて使用した枚葉基板搬送の需要が高まっています。一方で、FPD工場ごとに枚葉搬送のハンドシェイク仕様が異なるため、コストの増加や納期・検査の遅延などが課題となっています。これらの問題を解決するには、枚葉基板をプロセス装置に搬送するためのハンドシェイク方法を定義することが不可欠です。この仕様の目的は、現在各 FPD 製造工場で異なっている、単一基板を搬送するためのハンドシェイク方法を標準化することです。これにより、設備の設計・製造・設置の効率化とコスト削減が期待できます。
参照されるSEMI規格SEMI D44 — オフオンツールの取り扱いのための単一基板の基準位置の仕様
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