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SEMI D49 - ID リーダーの位置を指定するための、機器へのロード/アンロードのための単一基板の向きの仕様 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的なフラット パネル ディスプレイ - ファクトリー オートメーション委員会によって技術的に承認されました。この版は、2007 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2007 年 6 月には www.semi.org で入手可能になりました。
この規格は、SEMI D44「ハンドリングオフオン時の一枚基板の基準位置の仕様」に規定されている仮想基準線で示されるロード/アンロード時の枚葉基板の向きをより明確に規定することで、枚葉基板のIDリーダー位置をさらに特定することを目的としています。道具。
参照されるSEMI規格SEMI D44 — ツール上でハンドオフするための単一基板の基準位置の仕様
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