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SEMI D48 - ハンドオフ/オンツール用IDリーダーの基準線を指定するための基板IDの基準位置の仕様 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的なフラット パネル ディスプレイ委員会によって技術的に承認されました。この版は、2007 年 9 月 5 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2007 年 10 月に www.semi.org で入手可能になりました。
この規格は、ID二次元コード（以下、2D-ID）リーダの基準線を、装置、AMHS（装置、ローダ・アンローダ、ロボットを含む）、基板、基板IDの位置関係を明確にして定義するものです。
参照されるSEMI規格 |
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