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SEMI D44 - ツール上でハンドオフするための単一基板の基準位置の仕様 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的なフラット パネル ディスプレイ工場委員会によって技術的に承認されました。この版は、2006 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2006 年 6 月に www.semi.org で入手可能になりました。E この規格は、誤りを修正するために 2007 年 2 月に編集上修正されました。 ¶ 6.2.2.4 に変更が加えられました。
この規格は、AMHSが製造装置に基板を搬入出する際に、FPD製造装置の位置と基板の位置、およびそれぞれの位置を記述するために必要な相互の位置関係を規定する基準線を定義するものである。
参照されるSEMI規格SEMI D9 — FPD基板の用語
SEMI D24 — フラットパネルディスプレイの製造に使用されるガラス基板の仕様
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