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SEMI D43 - FPD製造用AMHSにおける機械振動の試験方法 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的なフラット パネル ディスプレイ - ファクトリー オートメーション委員会によって技術的に承認されました。この版は、2005 年 9 月 8 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2005 年 10 月に www.semi.org で入手可能になりました。
FPD製造においては、搬送時のハンドリング装置によるハンドリングカセットの振動に対するお客様のご要望があります。しかし、測定方法や測定場所は不明である。この試験方法は、測定方法と測定場所を明確にするものです。この規格は、AMHSと取り扱いに使用されるカセットとの接触点で発生する振動について、測定方法と測定箇所を規定するものです。
参照されるSEMI規格
なし。
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