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SEMI D42 - 超大型マスク基板ケース仕様 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は超大型製品の仕様を定義します。 フラットパネルディスプレイ（FPD）の製造工程で使用される基板ケースサイズ。
この規格で定義される仕様は以下に適用されます。 FPDマスク製造時に使用する基板材料を入れるケース プロセス。これで定義されるマスクサイズの対象基板範囲 標準は850×1,200mm以上です。
マスク基板の自動ハンドリングは、 基板の大型化に伴い、必須となります。これ 仕様はケース内のマスク基板の取り扱い量を定義します。
参照SEMI規格（別途購入）
なし。
改訂履歴
SEMI D42-0421 (技術改訂)
SEMI D42-0308 (再承認 0815)
SEMI D42-0308 (技術改訂)
SEMI D42-0305 (初公開)
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