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SEMI D40 - FPD 基板のたわみに関する用語 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、フラット パネル ディスプレイ - ファクトリー オートメーション グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2004 年 4 月 30 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2004 年 7 月に www.semi.org で入手可能になります。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この文書では、フラット パネル ディスプレイ (FPD) 基板が静的に維持される場合の物理的変化の用語と定義を提供します。
これらの用語と定義は、FPD 製造で使用される前面基板と背面基板の両方に適用されます。
参照されるSEMI規格セミD9
セミD25
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