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SEMI D40 - FPD基板の「たわみ」に関する用語 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
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本基準は、
フラットパネルディスプレイ - ファクトリーオートメーショングローバル技術委員会で技術的に承認されたもので、日本のフラットパネルディスプレイ - ファクトリーオートメーション委員会が直接責任を負うものである。現版は2004年4月30日日本地域規格委員会にて承認されている。 2004年6月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、 2004年7月発行に至る。
本書は、
FPD基板が静的に保持された場合の物理的搬送に関する用語とその定義を定める。ここで扱う用語と定義は、
FPD製造における前工程及び後工程の双方の基板に適応されるものとする。 参照されるSEMI規格セミD9
セミD25
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