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SEMI D38 - LCD マスクの品質領域のガイド -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、フラット パネル ディスプレイ – 材料およびコンポーネントのグローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 8 月 31 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 1 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2004 年 3 月に出版されました。以前は 2011 年 2 月に出版されました。
このガイドでは、LCD マスクの品質領域を定義します。
このガイドは、主に液晶ディスプレイの製造に使用されるマスクに適用されます。マスクサイズは202.8×202.8mm～1220×1400mmの範囲を指定します。
エッジ長が 200 mm 未満の基板は、半導体マスクの仕様に従います (SEMI P1 を参照)。
参照されるSEMI規格SEMI D6 — 液晶ディスプレイ (LCD) マスク基板の仕様
SEMI P1 — 硬質表面フォトマスク基板の仕様
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