SEMI D32 - 方向コーナーの統一によるガラス FPD 基板の情報管理の向上に関する仕様 -

Abstract

この規格は、フラット パネル ディスプレイ – ファクトリー オートメーション グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2009 年 5 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2009 年 7 月に www.semi.org で入手可能です。初版は 2003 年 3 月に出版されました。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この仕様書は、二次元コードシンボルと関連する英数字（リーダーのカメラとディスプレイを通じて視覚的に読み取ることができる）で構成され、品質領域の外側に位置するマーキングシンボルの位置、寸法、およびメッセージサイズを規定します。ガラス製フラットパネルディスプレイ（FPD）基板のこと。

この仕様のマーキング記号では、さまざまな方向コーナー (OC) カット形状によって以前に提供されていた追加情報とともに、個々の基板の識別情報を含めることができます。

したがって、この仕様により、FPD 用ガラス基板のサプライヤーは、出荷前に基板上の OC 周辺の 1 か所にそのような情報をマーキングすることで、基板情報の管理を簡素化することができます。さらに、このマーキングシンボルの使用により、現在使用されている多数のタイプの OC カット形状の将来の廃止が容易になります。

この仕様の対象となるマーキング シンボルは、FPD 用ガラス基板の供給者および購入者による使用を目的としています。

この仕様は、OC カット形状と位置の将来の統一をサポートするために、標準化された OC 位置を規定します。これが行われると、仕様の暫定的な性質を取り除くことができます。

本仕様書は、FPD用ガラス基板の品質領域外に位置するマーキングシンボルの内容、寸法、面位置を規定するものです。

このマーキング シンボルは、ユーザーのパターン化プロセスへの影響を回避する方法と位置でマークされます。

この仕様では、その要件を満たす際に使用されるマーキング技術は指定されていませんが、マーキング シンボルは個々のドットをレーザーでマーキングすることによって取得されると想定されています。

マーキング シンボルは、未使用の基板から完全にパターン化された基板まで、FPD プロセスのすべての段階に適用できます。データ マトリックス コードの形式とアルゴリズムは、ISO/IEC 16022 で指定された 2 次元シンボルに基づいています。

なし。

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