SEMI D28 - 無人搬送車 (AGV)、有軌道搬送車 (RGV)、および手動搬送車 (MGV) を使用した、フラット パネル ディスプレイ マテリアル ハンドリング機器とツール ポート間の機械的インターフェイスの仕様 -

Abstract

この規格は、フラット パネル ディスプレイ - ファクトリー オートメーション グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2008 年 5 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2008 年 7 月に www.semi.org で入手可能です。初版は 2001 年 11 月に出版されました。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この仕様は、フラット パネル ディスプレイの製造に使用されるプロセス ツールのツール ポートに関する共通の機能要件を定義します。これらの標準化された機能要件は、AGV、RGV、および MGV 機器とプロセス ツールとのインターフェースを容易にすることを目的としています。このような規格は、AGV、RGV、および MGV を使用するマテリアル ハンドリング機器の選択の自由を維持しながら、コスト効率の高いインターフェースを促進することを目的としています。

この仕様は、ツールポート上またはその周囲、およびツール面の前または面上の機械的特徴を定義します。これらの機能は AGV、RGV、および MGV の特定の機能を対象としていますが、インターフェイス要件は特定の形式のトランスポートの促進を回避することを目的としています。

なし。

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