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SEMI D28 - AGV、RGV、MGVを用いたFPD用搬送装置とツールポート間の機械的インターフェースの仕様 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。
免責事項：
このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は利用者各位の便宜のためにしたものです。は英語版記載内容が優先されます。SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
本基準は、
フラット パネル ディスプレイ - ファクトリー オートメーション グローバル技術委員会で技術的に承認されています。現版は 2008 年5月13日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認されました。 orgで。初版は2001年11月に発行された。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
本仕様は
FPD製造に使用するプロセスツールのツールポートに関わる主要な要求事項を規定する。 これらの主要要求事項の目的は、それを標準化することによって、搬送装置とツールの間のインターフェースをうまく機能させることにある。この標準化は、搬送装置の選択に自由度を持たず、コスト低減に配慮したインターフェースを奨励することを目的とする。本仕様は，プロセスツールポートに関する機械的特徴について規定し，また，ツールの前面にある表面の特徴についても規定する。このインターフェース要求事項は普及的なものであり、ある特定の搬送様式を奨励することを避けている。
参照されるSEMI規格なし。
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