D02700 - SEMI D27 - フラット パネル ディスプレイ機器の通信インターフェイスのガイド

SEMI D27 - フラット パネル ディスプレイ機器の通信インターフェイスのガイド -

Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900

Volume(s): Equipment Automation Software / Flat Panel Display
Language: English

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Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI D27-1000 - 非アクティブ

リビジョン

Abstract

このガイドは世界的なフラット パネル ディスプレイ委員会によって技術的に承認されており、北米フラット パネル ディスプレイ委員会が直接責任を負います。最新版は、2000 年 8 月 28 日に北米地域標準委員会によって承認されました。最初は 2000 年 8 月に www.semi.org で入手可能でした。 2000年10月発行予定。

これは、フラット パネル ディスプレイ製造施設での統合と自動化を成功させるための機器通信機能を実装するためのガイドです。

参照されるSEMI規格

SEMI E4 — SEMI 機器通信標準 1 メッセージ転送 (SECS-I)


SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)


SEMI E23 — カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様


SEMI E30 — SEMI 機器の通信および制御のための汎用モデル (GEM)


SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS)、汎用サービス


SEMI E37.1 — 高速 SECS メッセージ サービス、シングルセッション モード (HSMS-SS)


SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O の仕様



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