SEMI D26 - フラット パネル ディスプレイ用大面積マスクの暫定仕様 (北米) -

Abstract

この仕様は世界的なフラット パネル ディスプレイ委員会によって技術的に承認されており、北米フラット パネル ディスプレイ委員会が直接責任を負います。最新版は、2000 年 7 月 14 日に北米地域標準委員会によって承認されました。最初は 2000 年 8 月に SEMI OnLine で入手可能になりました。 2000年10月発行予定。

この仕様は、フラット パネル ディスプレイ業界向けの大面積マスクの指定と注文を支援する一連の標準を確立します。主な目的は、マスクメーカーと顧客の両方にとって、サイクルタイム、注文プロセスの効率を改善し、全体的な製造コストを削減することです。この仕様は、新興市場としての北米での使用を目的としています。しかしながら、本明細書の適用可能性は、この領域のみに限定または限定されるものではない。この規格は、広い面積のマスクを指定、製造、注文するための共通の要件セットに対する北米のニーズに対応するために開発されました。

SEMI D6 — フラットパネルディスプレイマスク基板のエッジの長さと厚さの仕様
SEMI P1 — 硬質表面フォトマスク基板の仕様
SEMI P5 — ペリクルの仕様
SEMI P6 — フォトマスクのレジストレーションマークの仕様

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