SEMI D24 - フラット パネル ディスプレイの製造に使用されるガラス基板の仕様 -

Abstract

この規格は、フラット パネル ディスプレイ – ファクトリー オートメーション グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2006 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2006 年 7 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になりました。初版は 2000 年 2 月に出版されました。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この規格は、フラット パネル ディスプレイの製造に使用されるガラス基板の選択された幾何学的要件を指定します。

この規格は、フラット パネル ディスプレイの反復製造とすべてのベンダーの基板の均一性を保証するために、ガラス基板の仕様レベルを設定することを目的としています。この規格はまた、プロセスツール内のすべての機械的インターフェース、および輸送および自動化カセットとの互換性を保証します。

SEMI D3 — フラットパネルディスプレイ基板の品質領域仕様
SEMI D4 — フラットパネルディスプレイ基板の参照方法
SEMI D5 — フラットパネルディスプレイ基板の標準サイズ
SEMI D6 — 液晶ディスプレイ (LCD) マスク基板の仕様
SEMI D7 — FPDガラス基板の表面粗さ測定方法
SEMI D9 — FPD基板の用語
SEMI D12 — フラット パネル ディスプレイ (FPD) 基板のエッジ状態の仕様
SEMI D15 — FPDガラス基板表面のうねり測定方法

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