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SEMI D21 - FPD マスク パターン精度に関する用語 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この文書では、FPD マスクの用語を定義します。これで 標準では、現場で使用されるべき用語の概念を示すことを目的としています。 技術会議、ビジネスディスカッションなどが明確になり、 マスクの標準化を推進します。
これらの用語は、主に使用されるフォトマスクに適用されます。 フラットパネルディスプレイの製造において。
参照SEMI規格（別途購入）
なし。
改訂履歴
SEMI D21-0706 (再承認 0221)
SEMI D21-0706 (再承認 0815)
SEMI D21-0706 (技術改訂)
SEMI D21-1000 (技術改訂)
S EMI D21-92 (初公開)
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