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SEMI D20 - FPDマスク欠陥の用語 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、グローバルフラット パネル ディスプレイ – マスク委員会で技術的に承認されています。現版は2006年5月16日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認されました。 semi.orgで，そして2006年7月にCD-ROMで入手可能となりました。初版は1993年発行，前版は2000年10月発行。
この文書は、 FPD用マスクの欠陥用語を定義する。この標準により、技術会議や商談の場などで使用される用語が明確になっており、マスクに関する標準化が促進されることをねらいとしている。
これらの用語は、主にFPDを製造するのに使用するフォトマスクに適用される。
参照されるSEMI規格なし。
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