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SEMI D18 - フラットパネルディスプレイ基板の水平輸送および保管に使用されるカセットの仕様 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様は世界的なフラット パネル ディスプレイ機器委員会によって技術的に承認されており、北米フラット パネル ディスプレイ委員会が直接責任を負います。最新版は、1998 年 8 月 15 日に北米地域標準委員会によって承認されました。最初は 1998 年 9 月に www.semi.org で入手可能でした。 1999年2月発行予定。
E この文書は、形式上の誤りを修正するために 2000 年 10 月に編集上修正されました。図 5 に変更が加えられました。
この規格は、フラット パネル ディスプレイ (FPD) 製造施設内で厚さ 0.7 mm ～ 1.1 mm (最大) のガラス基板を水平に輸送および保管するために使用されるカセットを指定します。
参照されるSEMI規格SEMI D3 — フラットパネルディスプレイ基板の品質領域仕様
SEMI D5 — フラットパネルディスプレイ基板の標準サイズ
SEMI D6 — フラット パネル ディスプレイ マスク基板の標準エッジ長さと厚さ
SEMI D9 — フラットパネルディスプレイの定義
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